Nano electromechanical sensors
Authors: Christofer Hierold ∗, Alain Jungen, Christoph Stampfer, Thomas Helbling
Title: Nano electromechanical sensors based on carbon nanotubes
Publication Source: Micro and Nanosystems, ETH Zurich, CH-8092 Zurich, Switzerland
MEMS-based sensor array
(scoliosis correction surgery)
Authors: D. Benfielda, E. Loub and W. Moussaa
Title: Development o
sensor 라 한다.
이에는 크게 2가지 종류가 있다.
1) 압전형 (piezodlectric type) : 원리는 압전형 마이크로폰과 대동소이하다. 즉, 압전소자는
외부진동에 의한 추의 관성력에 의해 기계적 왜곡이 야기되고 이 왜곡에 비례하여 전하가
발생된다.
- 중고주파역(10kHz 이하) 의 가속도 측정에 적합
-
전기식 자동제어 시스템
전기식. 전자식 및 공기식은 검출부에서 검출한 아날로그 신호(온도, 습도. 압력
등)를 조절부에서도 신호형태의 변환없이 아날로그 신호를 직접 사용하기 때문에 아
날로그 방식이라고 하며, DDC방식은 검출부의 아날로그 신호를 조절부에서 디지털
신호형태로 변환하여 연
II. 센서 기술의 발전 동향
초창기 반도체 센서가 개발되기 이전에는 기계식 센서가 주를 이루었다. 1950년대 이후로 Bell Technology Lab을 중심으로 Honeywell, Westinghouse 등지에서 실리콘 센서 제조에 핵심적인 기술을 확보하기 위하여 기초 연구가 진행되었다. 1970년대부터 학계에서도 실리콘 기반 센서의 연
1.서론
최근 반도체 직접회로 제조기술을 응용한 미소기계부품의 제작이 가능하게 됨에 따라 마이크로미터, 나노미터 크기의 미소부품과 이들의 작동에 필요한 집적회로를 하나의 칩으로 일체화 시킨 미세전기기계시스템(MEMS: MicroElectroMechanical Systems)이 등장하였으며, 급격한 발전을 이룩하였다. 또